SPring8 実習報告
本当に楽しそうに指導して下さった
自然科学研究科数理物理科学専攻 41419125 道内 尊正
1実習内容
SPring-8 のビームラインBL46XU で, 薄膜構造評価用X 線回折装置(リガク製 ATX-G) に
よって, GIXR(Grazing Incidence X-ray Reflective Technique) によるSi 基板上のポリマー薄膜
の評価を行った. X 線反射率の解析により, 全反射臨界角から薄膜の密度, 振動の周期から膜厚を
求めることができた. また, Si 単結晶の構造因子, 回折角を計算し, in-plane 反射, out-plane 反射
を観測することができた.
図1 BL46XU ハッチ内のリガク製薄膜構造評価用X 線回折装置
薄膜構造評価等が行える.
2 謝辞
今まで薄膜に関する知識はほとんどありませんでしたが, 旭化成やビームライン担当者の方の非
常に丁寧な指導のおかげで, 多くのことを学ぶことができました. 薄膜試料の微小角入射X 線回折
や, 反射率測定の経験が積めたことは, 自分にとって非常に大きな財産となりました. 一番印象に
残ったのは, 指導者の方々が本当に楽しそうに指導して下さったことです. 指導者の皆さんは, 本当
に科学が好きなんだなと思いました. 特に, 廣澤さんの指導が熱心で印象深かったです. 研究テー
マを選定がもっとも重要であるという有難い教えをいただきました. 実習を終えて, 自分の研究に
対する取り組み方や姿勢が, 未熟であることを痛感させられました. 自分も放射光を扱う学生の一
人として, 今後もよりいっそう今回の実習で学んだことを生かして, 今後の自分の研究も精進した
いと思います.
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